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半導体検査Semiconductor inspection

プローブカード

半導体検査工程でLSI(半導体集積回路)製造のウエハーテスト工程で、シリコンウエハー上に形成されたLSIチップの電気的検査に用いられる治具です。
ワイヤープローブを使用することで、プローブを垂直に立てることが出来、より自由なプローブ配置が可能となります。
また、垂直に検査対象物と接触するため、従来型のカンチレバータイプのプローブに比べ検査キズ(打痕)の大幅な改善が見込めます。

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